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一种芯片封装结构及封装方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10W 74/10 (2026.01)H10W 74/15 (2026.01)H10W 40/20 (2026.01)H10W 74/01 (2026.01)H10W 70/60 (2026.01)H10W 40/47 (2026.01)H10W 40/00 (2026.01)
本公开实施例提供一种芯片封装结构及封装方法,该封装结构中,将微流道内置于有机中介体中,并通过重布线层将第二芯片的热点区与微流道直接热连通,使冷却液能够精准流经芯片发热最集中的区域,实现了对芯片局部热点区的精准液冷散热,大幅缩短了散热路径,使散热更直接,更有针对性,提升芯片在最大功率峰值散热水平;微流道与芯片倒装结构集成于同一封装体内,无需外置散热器,有利于封装小型化和系统集成度的提高;同时,采用一体成型的微流道结构,避免了传统微流道分层密封制备带来的界面薄弱问题,整体结构稳定性高、耐压能力强;仅需在单层有机中介体内设置微流道,无需多层微流道间的复杂对准,提高封装结构的可靠性。