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기록

曝光装置、曝光用容器及曝光系统

발명알 수 없음
11청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

南原孝启; 九内雄一朗; 日下裕幸

출원일

Dec 25, 2024

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

G02B 26/10 (2006.01)

提供一种能够提高溶胀了的凝胶的三维光造型中的精度的曝光装置。曝光装置(1)具备:成像光学系统,将曝光光束(LE)成像于溶胀了的凝胶(41);照明光学系统(20),对载置凝胶(41)的基板(培养皿42的底板)照射照明光(LL);以及检测光学系统(30),将在基板(培养皿42的底板421)的各点反射或散射出的照明光(LL)的反射光或散射光成像于光检测器(35)的各点。