用于混合接合的氧化铝结晶阻障物

一种用于基板处理的方法，所述方法用于混合接合，而包括在金属触点上形成氧化铝结晶阻障物。在一些实施方式中，所述方法可以包括提供基板以准备进行混合接合处理，其中所述基板具有氧化铝（AlO）接合层在所述基板的最上表面上，且金属触点存在于所述氧化铝接合层中。结晶阻障物形成于所述金属触点的最上表面上。所述结晶屏障破坏了在所述混合接合处理的后续退火处理期间由于所述氧化铝接合层的所述氧化铝材料及所述金属触点的金属材料相互作用而引起的氧化铝接合层的结晶。