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기록
一种混合粒径PSL标准粒子气溶胶发生装置
발명알 수 없음
8청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
B01J 13/00 (2006.01)G01N 33/00 (2006.01)G01N 15/02 (2024.01)G01N 1/28 (2006.01)G01N 1/34 (2006.01)G01D 21/02 (2006.01)
本发明公开了一种混合粒径PSL标准粒子气溶胶发生装置，包括：腔体；底端的取样结构包括若干取样管，一端插入至腔体内部中间区域，另一端从出气通道导出；腔体顶端的进样通道包括空气入口、小粒径PSL粒子入口和大粒径PSL粒子入口；其中，空气入口用于向腔体中竖直向下通入洁净干燥空气；小粒径PSL粒子入口与小粒径PSL粒子发生单元连接，大粒径PSL粒子入口为三通阀，分别作为大粒径PSL粒子入口和等离子中和气体入口；大粒径PSL粒子入口与大粒径PSL粒子发生单元连接，等离子中和气体入口用于向腔体中竖直向下通入洁净等离子中和气体；本发明兼顾0.1μm～1μm小粒径粒子与1μm～10μm大粒径粒子的输出需求。
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