一种晶圆减薄机测子保护用环形喷嘴装置

本申请涉及晶圆减薄技术领域，具体涉及一种晶圆减薄机测子保护用环形喷嘴装置。所述装置包括安装支架和环形喷嘴，安装支架内形成流体通道，流体通道进口连接可独立调节的水路和气路；环形喷嘴具有供测子穿过的中心通孔及多个向外下方倾斜的孔道；安装支架升降设置以调节环形喷嘴与测子端面的间隙。水气二流体经孔道喷出后在测子外周形成向外扩散的360°环形保护区域，阻挡废屑进入测子接触区域。本申请用于晶圆背面减薄过程中接触式测量测子的防护，可有效阻挡废屑干扰并避免测子扰动。