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一种由再生钨粉一体化制备钨靶材的方法
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§ Ⅰ
개요
출원인
南昌大学; 赣州有色冶金研究所有限公司; 江西省科学院材料与智能制造研究所
발명자
张深根; 刘恒嵩; 刘越; 胡强; 钟荣; 张永会; 张帆
출원일
Jun 26, 2026
공개일
Oct 20, 2026
IPC 분류
B22F 5/00 (2006.01)B22F 3/15 (2006.01)B22F 3/04 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)
本发明公开了一种由再生钨粉一体化制备钨靶材的方法,涉及二次资源再生利用及粉末冶金技术领域,方法包括:对再生钨粉进行真空干燥和筛分,得到预处理钨粉;超声辅助的梯度酸洗,得到除杂后的钨粉;还原处理,得到还原后的钨粉;采用氩气与氢气的混合工作气体,对还原后的钨粉进行等离子体精炼,得到高纯钨粉;将高纯钨粉进行冷等静压成型,得到钨靶坯;在保护气氛下,对钨靶坯进行阶梯升温烧结,得到烧结坯;对烧结坯进行热等静压致密化处理,得到致密化靶坯;对致密化靶坯进行机械加工,得到高纯钨靶材,本发明能有效解决再生钨粉杂质含量高、提纯流程冗长、靶材致密度低、性能不稳定的技术难题,实现了废旧钨资源的高效循环利用。
§ Ⅵ
특허 도면
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