一种薄板类气体分配盘的复合热处理方法

本申请属于气体分配盘加工技术领域，涉及一种薄板类气体分配盘的复合热处理方法，所述复合热处理方法包括依次进行的预处理、第一降温、第二降温、保温处理、升温处理以及回火处理；所述第一降温的速率不低于第二降温的速率。本申请提供的复合热处理方法能够保证薄板类气体分配盘高平面度精度，避免硬度下降，并提升其长期尺寸稳定性。