一种MEMS陀螺仪敏感芯片及其应用

本发明公开了一种MEMS陀螺仪敏感芯片，该芯片包括：基板；设置在基板上的若干模块；模块包括：第一质量块和第二质量块，第一质量块和第二质量块间隔于基板所在平面，且两个质量块被配置为在第一速度作用下可沿着平行于基板的第一方向相向位移，在第二速度作用下可沿着平行于基板的第二方向背向位移，其中，第一方向与第二方向正交；驱动模块，驱动模块设置在第一质量块和第二质量块之间，且驱动模块在第一方向分别与第一质量块和第二质量块连接；检测模块，检测模块围绕第一质量块和第二质量块，且检测模块与质量块连接。本发明具有抑制正交耦合和共模误差的优点。