一种填充多孔介质的层流等温流量测量装置及方法

本发明公开了一种填充多孔介质的层流等温流量测量装置与方法，属于微小流量精密流体计量技术领域。本发明在管道内部设置多孔介质填充区域，内置开孔泡沫结构的碳化硅多孔介质，配合直管段、高精度微差压变送器与温度测点组成测量架构；利用碳化硅多孔介质的结构参数约束内部流场维持稳定层流，依托自身高导热特性实现流动等温化，结合温度采集数据对压差流量关系进行温度补偿修正。本发明无需布设长距离层流发展直管段，抗污染不易堵塞，有效抑制温度漂移，测量精度与工作稳定性高，适用于半导体原子层制造、微流控、医疗及精密化工等微小流量精密计量场景。