一种反射镜的EUV反射率检测装置及方法

本说明书实施例提供了一种反射镜的EUV反射率检测装置及方法，其中，方法包括：确定参考光路和测量光路的光谱传递函数，计算参考光路和测量光路探测器接收到的全谱信号和带内信号；根据测量光路和参考光路各自的带内信号占比之比计算光谱修正因子C(θ)；根据所述光谱修正因子C(θ)计算待测反射镜的等效带内反射率R(θ)。