集成光学结构及制造集成光学结构的方法

本公开涉及集成光学结构（10）。该集成光学结构（10）包括：光波导结构（11）；与光波导结构（11）相距第一距离悬置的梁结构（12），所述梁结构（12）包括第一材料的第一区段（12A）和第二材料的第二区段（12B），其中第一材料是导电材料，第二材料是非导电材料或半导体；与梁结构（12）相距第二距离设置的电极结构（21）；以及电接触结构，该电接触结构被配置成在电极结构（21）与梁结构（12）的第一区段（12A）之间施加电压，感生出在电极结构（21）与第一区段（12A）之间起作用的静电力；其中梁结构（12）被设计成在所述静电力作用下朝向或远离光波导结构（11）弹性弯曲，导致在光波导结构（11）中传播的光学信号的光学特性—尤其是相位—的改变。