处理装置、基板处理装置、处理方法、半导体器件的制造方法及程序产品

本发明提供一种能够以易于理解的方式显示装置数据的变化的技术，具备：显示部，其构成为能够在画面中显示第1区域和第2区域，所述第1区域按时间序列以图表显示包含至少一个项目的第1类别的装置数据的变化，所述第2区域显示所述项目的信息；操作部，其构成为能够进行对显示在所述第2区域内的所述项目的选择操作、和对显示在所述第1区域内的装置数据中的指定时刻的选择操作；和控制部，其构成为能够以如下方式控制所述显示部：在包含通过所述操作部的选择操作而选择的项目的装置数据中的所选择的指定时刻的区间内所述装置数据发生了变化的情况下，将所述区间的显示方式切换成与其他区间不同的显示方式来进行显示。