一种薄膜铌酸锂/钽酸锂集成光电探测器件的制备方法

本申请公开了一种薄膜铌酸锂/钽酸锂集成光电探测器件的制备方法，包括：在第一衬底的一侧形成分布式布拉格反射镜；在分布式布拉格反射镜远离第一衬底的一侧沉积形成第一键合介质层；在第二衬底的一侧形成埋层电极；在第二衬底设置有埋层电极的一侧形成超导纳米线；在第二衬底设置有埋层电极的一侧沉积形成第二键合介质层；将第一键合介质层和第二键合介质层键合处理后对第二衬底减薄形成薄膜层，对薄膜层进行刻蚀处理形成波导结构，得到所述集成光电探测器件。由此，通过分布式布拉格反射镜和超导纳米线均在键合前的平坦初始衬底表面依次制备，得到自下而上的分布式布拉格反射镜、超导纳米线、铌酸锂/钽酸锂锥形波导结构。