基板处理装置以及基板处理方法

本申请说明书所公开的技术为一种现有技术未解决的IPA蒸气与水蒸气的混合蒸气的分离技术。本申请说明书所公开的技术的基板处理装置具有：处理腔室，收纳贮存有纯水的处理槽，使基板浸渍在纯水中来处理基板；有机溶剂蒸气供给部，将有机溶剂的蒸气供给至处理腔室内；升降机，在从处理槽取出浸渍在纯水中的基板时，一边使有机溶剂的蒸气与基板接触一边提起基板；吸气部，从处理腔室内吸入在处理腔室内所生成的混合蒸气；以及分离膜，将被吸气部吸入的混合蒸气中的纯水的蒸气与有机溶剂的蒸气分离；混合蒸气包含纯水的蒸气以及有机溶剂的蒸气。