基片处理系统和磁悬浮式真空输送单元

本发明提供一种提高装置布局的自由度的技术。基片处理系统包括装载端口、多个磁悬浮式真空输送单元、基片处理系统、多个基片处理模块、装载锁定模块。装载端口配置于第一高度。多个磁悬浮式真空输送单元配置于第二高度，且能够在水平方向上连结。各基片处理模块能够与多个磁悬浮式真空输送单元中的任一者连接。装载锁定模块构成为能够将内部切换为大气环境或真空环境，能够在大气环境下在装载锁定模块与装载端口上的基片收纳容器之间输送基片，能够在铅垂方向上输送基片，并且能够在真空环境下在装载锁定模块与多个磁悬浮式真空输送单元中的任一者之间输送基片。