搬运装置以及排气方法

本发明涉及搬运装置以及排气方法，是对处理基板的处理装置搬入搬出基板的搬运装置，具有主体部，该主体部具有：搬运空间，设置搬运上述基板的搬运机器人；以及储存空间，与上述搬运空间连结，并支承上述基板，上述主体部具备：壳体，构成上述搬运空间，并具有壁部和与上述壁部连结的柱构件，上述壁部形成：连结供收容上述基板的容器载置的负载端口的前面、连结设置于上述处理装置的负载锁定的后面、及在装置纵深方向上连结上述前面与上述后面的一对侧面；以及排气通路，将供给到上述储存空间的气体排出，上述排气通路形成在上述壳体的上述柱构件内。