纳米层状YO-YAG复合抗刻蚀涂层及其制备方法

本发明公开了纳米层状YO‑YAG复合抗刻蚀涂层及其制备方法，涉及涂层材料技术领域。本发明提供的纳米层状YO‑YAG复合抗刻蚀涂层的制备方法至少包括以下制备步骤：提供一陶瓷基体；在所述陶瓷基体的一侧交替循环沉积纳米层状YO和纳米层状YAG，获得纳米层状YO‑YAG复合抗刻蚀涂层；其中，所述纳米层状YO‑YAG复合抗刻蚀涂层靠近和远离所述陶瓷基体的一侧为所述纳米层状YO。本发明制备的纳米层状YO‑YAG复合抗刻蚀涂层有效抑制柱状晶生长、减少贯穿孔隙，显著提升抗刻蚀性能。