一种主三一体光学反射镜元件相对偏心测量标定方法

本发明涉及干涉检测技术领域，具体提供一种主三一体光学反射镜元件相对偏心测量标定方法，首先搭建视觉测量系统，用于获取检测光路相对于镜体的对准偏差，然后用主镜检测光路建立基准状态，将主镜干涉彗差系数调至小于第一阈值，并通过视觉测量系统记录主镜检测光路的基准位置状态，在切换至三镜检测光路后，通过视觉引导三镜检测光路调整复现基准位置状态，获得复现后的对准状态残差；随后通过干涉检测软件获取三镜波前彗差系数，再基于波像差理论建立的平移失调‑彗差灵敏度矩阵将彗差系数反演为等效横向失调量，并结合对准状态残差解算主镜与三镜之间结构固有的相对偏心量。