基于零级与非零级通道融合的结构参数反演方法及系统

本发明涉及半导体量测技术领域，尤其涉及一种基于零级与非零级通道融合的结构参数反演方法及系统，以预设的量测条件对结构参数待反演的目标结构进行量测，得到实际观测信号；根据实际观测信号构建包括零级信号和归一化后的非零级信号的实际混合观测信号；以量测条件对当前结构参数的目标结构进行短波长散射正演计算，得到预测观测信号及其对应的预测混合观测信号；根据实际混合观测信号和预测混合观测信号，构建优化结构参数的目标函数；基于目标函数对结构参数进行优化，得到目标结构的结构参数反演值。本发明将零级和非零级信号在同一观测信号中使用，提高目标参数的可观测性，同时实现了对量测存在的扰动对目标参数反演的影响进行量化。