基于波前相位梯度反演的光栅线密度一致性检测方法

本发明涉及光栅线密度检测，具体涉及基于波前相位梯度反演的光栅线密度一致性检测方法，将待测光栅置于测试光路中，使待测光栅工作于一级衍射状态，测量并输出一级衍射光的衍射面型高度分布数据；对于衍射面型高度分布数据，沿待测光栅刻线的垂直方向，计算每个数据点的局部表面斜率；计算每个数据点处局部表面倾斜引起的干涉角变化量；将干涉角变化量代入光栅方程，计算每个数据点的局部线密度偏差；对所有数据点的局部线密度偏差进行统计分析，得到光栅线密度一致性的量化评价指标；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的难以对光栅线密度一致性进行精准、高效检测的缺陷。