一种表面光电压测试仪的信号电压校准方法

本申请属于半导体检测技术领域，提供一种表面光电压测试仪的信号电压校准方法，包括：提供表面光电压测试仪以及第一外延片至第四外延片；对表面光电压测试仪进行初步校准；在第一量测模式下分别对第一和第二外延片进行测量，以获取不同光源功率的辅光源下的若干第一模式电压；在第二量测模式下分别对第三外延片和第四外延片进行测量，以获取在不同光源功率的辅光源下的若干第二模式电压；对第一和第二模式电压进行分析，获得信号电压及其电压衰减率与量测模式和辅光源的光源功率的关系。在后续正式测试时，能够根据上述关系计算得到需要设置的辅光源的光源功率，快速、准确地实现了对SPV机台的信号电压校准。