一种炉管工艺热应力优化控制方法及计算机可读存储介质

本发明公开了一种炉管工艺热应力优化控制方法，包括以下步骤获取步骤，获取晶圆在已完成炉管工艺中的历史位置信息，其包含晶圆在晶舟高度方向上的分布位置；赋分步骤，根据历史位置信息，对晶圆进行热应力风险赋分，分值大小与晶圆在晶舟两端位置出现的累计次数呈正相关；排货步骤，在晶圆进入下一道炉管工艺排货时，根据分值将高风险晶圆优先分配至晶舟中部；重复执行步骤，在每道工艺完成后更新历史信息及分值，循环执行以持续减少晶圆全流程中处于两端位置的总次数。本发明无需改造硬件、更改配方或牺牲批次产能，仅通过MES后台逻辑调度，即可有效降低高温热应力导致的晶圆滑移或形变风险，提升良率。