被配置为制造半导体器件的电子装置的操作方法

一种被配置为制造半导体器件的电子装置的操作方法，该操作方法包括：接收半导体器件的图像；通过使用电子装置的第一模块处理图像以生成包括图像上第一点的第一未对准的信息的处理后的数据；以及通过使用电子装置的第二模块根据第一未对准的信息计算图像上第二点的第二未对准的信息，以生成数据集。数据集包括第一未对准的信息和第二未对准的信息。