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기록
一种晶圆清洗装置
발명알 수 없음
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10P 70/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)
本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，用于夹持并驱动晶圆旋转；清洗刷，连接于摆臂端部并随其移动，以清洁晶圆；调节组件，与摆臂连接并调整其位姿，使得清洗刷的移动轨迹与晶圆形变相匹配。
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