검색으로 돌아가기
기록
그리드 펄싱 기술을 이용한 EUV PR/SiON 패턴에서의 식각 선택비 및 손상 제어 장치 및 방법
발명심사 중
§ Ⅰ
개요
발명자
염근영; 장윤종; 권해인; 길홍성; 김경찬; 김주영; 박우창
출원일
Jun 24, 2024
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1J 37/4H1J 37/8H1J 37/24H1J 37/305H1L 21/311H1L 21/67
CPC 분류
H1J37/45H1J37/8H1J37/241H1J37/3056H1L21/31116H1L21/31144H1L21/67069