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案件記録

기판 처리 장치 및 방법

発明審査中
§ Ⅰ

案件概要

出願人

한화세미텍 주식회사

元の名称記録: 한화세미텍 주식회사 · すべての特許を表示特許出願人の記録

発明者

류희성; 신유리

出願日

Jun 24, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1J 37/32H1L 21/687H1L 21/768

CPC分類

H1J37/3244H1J37/32174H1J37/32715H1L21/68742H1L21/76837

外部リソース

Google PatentsEspacenet