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기판처리방법

발명심사 중
§ Ⅰ

개요

출원인

주식회사 테스

원래 이름 기록: 주식회사 테스 · 전체 특허 보기특허 출원인 기록

발명자

정우영; 이환희; 윤영일; 김종욱

출원일

Jun 24, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/2C23C 16/26C23C 16/507H1J 37/32H1L 21/33

CPC 분류

H1L21/2274C23C16/26C23C16/507H1J37/321H1J37/32128H1L21/2115H1L21/332

외부 자료

Google PatentsEspacenet