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案件記録
기판 맵핑 센서
発明審査中
§ Ⅰ
案件概要
発明者
정민철; 박종진; 서현후; 조지환
出願日
Nov 6, 2024
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
G1N 21/88G1N 21/3563G1N 21/95H1L 21/67
CPC分類
G1N21/8806G1N21/3563G1N21/95H1L21/67265H1L21/67288H1L21/67303
外部リソース
発明者
정민철; 박종진; 서현후; 조지환
出願日
Nov 6, 2024
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
CPC分類
外部リソース