기판 핸들링 장치 및 엔드 이펙터

출원인

에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.

발명자

탄티웡 카일; 반나 사메르; 첸 동양; 곤잘레스 마리오

출원일

Jun 20, 2025

공개일

Dec 31, 2025