이중 다마신 구조들을 위한 리소그래피 프로세스들

출원인

어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

발명자

창, 춘-지; 왕, 잉차오; 라이딕, 토마스 엘.; 강, 충-신; 첸, 장 풍; 차이, 치-밍; 셰, 천-위안

출원일

Jun 23, 2025

공개일

Dec 31, 2025