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기록
감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 감활성광선성 또는 감방사선성막, 패턴 형성 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
발명patent.status.granted
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G3F 7/39C7D 295/26C7D 327/6G3F 7/4G3F 7/38G3F 7/20G3F 7/26
CPC 분류
G3F7/39C7D295/26C7D327/6G3F7/4G3F7/38G3F7/20G3F7/26
IPC 분류
CPC 분류