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리소그래피 장치의 초점 성능을 측정하기 위한 방법, 패터닝 디바이스 및 장치, 디바이스 제조 방법

Inventionpatent.status.granted

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§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

Inventor

리우, 페이; 리안, 진; 황, 주앙시옹; 데 빈테르, 라우렌티우스, 코르넬리우스; 스타알스, 프랭크

Filing Date

Jul 6, 2021

Publication Date

Dec 31, 2025

IPC Classification

G3F 7/20G3F 1/44G3F 9/

CPC Classification

G3F7/70641G3F1/44G3F7/70091G3F7/70683G3F9/7026

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