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기록

플라즈마 에칭 장치 및 플라즈마 에칭 방법

발명patent.status.granted

4조회수

§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

타나카 사토시

출원일

Mar 26, 2020

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1J 37/32H1L 21/3065

CPC 분류

H1J37/32174H1J37/32146H1J37/3244H1L21/3065

외부 자료

Google Patents Espacenet