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№ KR1029057820000B1
기록
기판 연속 제조장치의 에어필터 설치구조
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발명
patent.status.granted
1
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
특허 출원인 기록
발명자
김영환
출원일
Oct 17, 2023
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
B1D 46/
CPC 분류
B1D46/5
B1D46/1
외부 자료
Google Patents
Espacenet