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기록

기판 연속 제조장치의 에어필터 설치구조

발명patent.status.granted
1조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

김영환

출원일

Oct 17, 2023

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

B1D 46/

CPC 분류

B1D46/5B1D46/1