화학적 기계적 연마를 위한 소형 패드를 위한 캐리어

출원인

발명자

첸, 후이; 주니가, 스티븐 엠.; 첸, 헝 치; 라우, 에릭; 신, 가렛, 호 이; 창, 쇼우-성

출원일

Dec 2, 2016

공개일

Dec 31, 2025