기록

세라믹 플레이트

발명patent.status.granted

4조회수

§ Ⅰ

개요

출원인

발명자

안도 다카히로; 유다 신스케; 요시노 고이치; 핫토리 아키요시

출원일

Aug 24, 2023

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/683C4B 35/10C23C 16/458H1J 37/32H1L 21/687H5B 1/2H5B 3/3H5B 3/14

CPC 분류

H1L21/6833C4B35/10C23C16/4586H1J37/32715H1L21/68757H5B1/233H5B3/3H5B3/141

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