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기록

기판 처리 장치 및 그 동작 방법

발명patent.status.granted
1조회수
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

윤성진; 이석휘; 나준영; 김지훈; 전진표; 설봉호

출원일

Jul 25, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/67H1L 21/687H5B 1/2H5B 3/22

CPC 분류

H1L21/67115H1L21/67103H1L21/68785H5B1/233H5B3/22

외부 자료

Google PatentsEspacenet