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案件記録

캐리어 웨이퍼 재생 방법

発明patent.status.granted
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§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

이종명; 김진배

出願日

Apr 23, 2024

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/2H1L 21/304H1L 21/3105

CPC分類

H1L21/2032H1L21/2024H1L21/304H1L21/31051

外部リソース

Google PatentsEspacenet