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기록

반도체 장치 및 그의 제조 방법

발명patent.status.granted
§ Ⅰ

개요

발명자

장철순; 김상기; 정일근; 한정훈

출원일

Feb 15, 2021

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 23/H1L 21/66H1L 21/78H1L 23/522

CPC 분류

H1L23/562H1L21/78H1L22/34H1L23/522