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案件記録

정밀 플라즈마 제어 시스템

発明patent.status.granted
§ Ⅰ

案件概要

発明者

젬바, 티모시; 밀러, 케니스; 프라거, 제임스; 무글리, 케빈; 한슨, 에릭

出願日

Jan 31, 2020

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1J 37/32

CPC分類

H1J37/32174H1J37/3211H1J37/32146H1J37/32532H1J2237/334

外部リソース