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기록

기판 처리 방법

발명patent.status.granted
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

이윤영; 손진철

출원일

Sep 21, 2022

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/311H1L 21/33

CPC 분류

H1L21/31122H1L21/332H1L21/31144

외부 자료

Google PatentsEspacenet