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기록

플라즈마 반응 장치

발명patent.status.granted
§ Ⅰ

개요

출원인

특허 출원인 기록

발명자

최대규

출원일

Nov 9, 2020

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1J 37/32

CPC 분류

H1J37/32357H1J37/3244H1J37/32522H1J37/32669H1J37/32834H1J37/32935

외부 자료

Google PatentsEspacenet