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№ KR1029064280000B1
案件記録
플라즈마 반응 장치
保存
発明
patent.status.granted
§ Ⅰ
案件概要
出願人
特許出願人の記録
発明者
최대규
出願日
Jan 6, 2021
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
H1J 37/32
CPC分類
H1J37/32513
H1J37/32357
H1J37/3244
H1J37/32522
H1J37/32669
H1J2237/3341
外部リソース
Google Patents
Espacenet