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№ KR1029066030000B1
기록
반도체 다이의 밀어올림 장치
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발명
patent.status.granted
4
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
특허 출원인 기록
발명자
마에다 토루; 츠치카와 요헤이
출원일
Mar 13, 2024
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H1L 21/67
H1L 21/683
CPC 분류
H1L21/67144
H1L21/6838
외부 자료
Google Patents
Espacenet