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기록

반도체 다이의 밀어올림 장치

발명patent.status.granted
4조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

마에다 토루; 츠치카와 요헤이

출원일

Mar 13, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/67H1L 21/683

CPC 분류

H1L21/67144H1L21/6838