検索
AIツール
分析
リソース
料金プラン
ja
ログイン
無料で始める
検索に戻る
№ KR1029068020000B1
案件記録
웨이퍼의 제조 방법 및 적층 디바이스 칩의 제조 방법
保存
発明
patent.status.granted
§ Ⅰ
案件概要
出願人
特許出願人の記録
発明者
김영숙; 장병덕; 카와이 아키히토; 테라니시 슌스케
出願日
Oct 19, 2021
公開日
Dec 31, 2025
IPC分類
H1L 21/52
H1L 21/683
H1L 21/78
H1L 25/
H1L 25/65
H1L 25/7
H1L 25/75
CPC分類
H1L21/52
H1L21/6835
H1L21/78
H1L25/657
H1L25/74
H1L25/756
H1L25/50
H1L2221/68327
外部リソース
Google Patents
Espacenet