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案件記録

금속 도핑된 붕소 막들

発明patent.status.granted
§ Ⅰ

案件概要

出願人

特許出願人の記録

発明者

아이딘, 아이컷; 청, 루이; 자나키라만, 카르틱

出願日

Apr 19, 2022

公開日

Dec 31, 2025

IPC分類

H1L 21/2C23C 16/22C23C 16/509H1L 21/33H1L 21/311

CPC分類

H1L21/2274C23C16/22C23C16/5096H1L21/2112H1L21/22H1L21/332H1L21/31144

外部リソース

Google PatentsEspacenet