기록

산소 라디칼 보조 유전체 막 고밀화

발명patent.status.granted

§ Ⅰ

개요

출원인

발명자

샤르마, 쇼생크; 리우, 웨이; 선, 용; 자, 프라켓 프라카쉬

출원일

Nov 30, 2020

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H1L 21/2H1J 37/32H1L 21/3115H1L 21/762

CPC 분류

H1L21/234H1J37/32357H1J37/32577H1L21/2164H1L21/217H1L21/2222H1L21/2271H1L21/2323H1L21/31155H1L21/76224

외부 자료