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레이저 공정을 이용하여 양자기술용 질소-공극 센터 특성을 최적화하는 소자 제작 장치 및 그 방법

발명patent.status.granted
2조회수
§ Ⅰ

개요

발명자

양민양

출원일

May 29, 2024

공개일

Dec 31, 2025

IPC 분류

H10D 48/G6N 10/40H10D 62/10

CPC 분류

H10D48/383G6N10/40H10D62/118