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№ KR1029073210000B1
기록
레이저 공정을 이용하여 양자기술용 질소-공극 센터 특성을 최적화하는 소자 제작 장치 및 그 방법
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발명
patent.status.granted
2
조회수
§ Ⅰ
개요
출원인
특허 출원인 기록
발명자
양민양
출원일
May 29, 2024
공개일
Dec 31, 2025
IPC 분류
H10D 48/
G6N 10/40
H10D 62/10
CPC 분류
H10D48/383
G6N10/40
H10D62/118
외부 자료
Google Patents
Espacenet