검색으로 돌아가기
기록
나노 유체 디스펜서, 이를 구비하는 반도체 소자 제조 장치, 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법
발명patent.status.granted
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H1L 21/67B5C 11/10B5C 13/2B5C 5/2C23C 16/455H1L 21/2H1L 21/285H1L 21/311
CPC 분류
H1L21/6708B5C11/1013B5C13/2B5C5/208C23C16/45565H1L21/2043H1L21/2271H1L21/28556H1L21/31111H1L21/67051