№ CN122917259A发明专利
未知一种嵌段共聚物及其制备方法、应用
本发明属于聚合物技术领域,公开了一种嵌段共聚物及其制备方法、应用,该嵌段共聚物能够在较低温度和较短时间内完成自组装过程,并且可以获得高分辨率的图形结构尤其是能够达到20 nm及以下的特征尺寸,在光刻技术中具有良好的应用前景,可满足半导体领域的实际使用要求。
❖广东省特种设备检测研究院顺德检测院; 肇庆学院黄华佑; 李运泉; 杨丹; 梁泱泱; 吴银萍; 荣政Oct 16, 2026§ 3/10 权利要求C08F 293/00 (2006.01), C08F 220/24 (2006.01), C08F 220/22 (2006.01) +2